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J-GLOBAL ID：200902177749089570   整理番号：99A1008497

ヘリコン波励起型反応性高密度プラズマスパッタリングによる超硬質窒化物薄膜合成

著者 (5件)： 節原裕一 (大阪大) ,  三宅正司 (大阪大) ,  熊谷正夫 (神奈川県産業総研) ,  坂和洋一 (名古屋大 工) ,  庄司多津男 (名古屋大 工)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 60th  号： 1  ページ： 94  発行年： 1999年09月01日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (8件)： ヘリコン波 ,  励起 ,  反応性 ,  高密度プラズマ ,  スパッタリング ,  硬質 ,  窒化物 ,  薄膜