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J-GLOBAL ID：200902189210099406   整理番号：02A0852830

プラズマエッチングにおける表面反応シミュレーションのための原子間ポテンシャルモデル

著者 (3件)： 太田裕朗 (京大 大学院エネルギー科学研究科) ,  浜口智志 (京大 大学院エネルギー科学研究科) ,  若谷誠宏 (京大 大学院エネルギー科学研究科)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 63rd  号： 1  ページ： 108  発行年： 2002年09月24日 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *プラズマエッチング ,...

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分類 (3件)： プラズマ応用  (BJ02110K) ,  放射線化学反応  (CB09020M) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： プラズマエッチング ,  表面反応 ,  シミュレーション ,  原子間ポテンシャル ,  モデル