用語
J-GLOBAL ID：200906040120467490
プラズマエッチング
主題カテゴリー：
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用語の主な分野です
電子素子
同義語 (4件)：
プラズマエッチ
(plasma etching)
プラズマエッチ について
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プラズマ食刻
プラズマ食刻 について
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プラズマエッチング技術
プラズマエッチング技術 について
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プラズマエッチング方法
プラズマエッチング方法 について
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上位語 (1件)：
ドライエッチング
(dry etching)
ドライエッチング について
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下位語 (1件)：
RIE【エッチング】
(RIE)
RIE【エッチング】 について
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