イオン・プラズマプロセスによるほう素,炭素,窒素系超硬質薄膜の合成

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J-GLOBAL ID：200902191648003317 整理番号：98A0598983

Ion-beam and plasma processing techniques for thin-film synthesis of superhard materials in boron-carbon-nitrogen system.

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巻： 67 号： 6 ページ： 659-663 発行年： 1998年06月
JST資料番号： F0252A ISSN： 0369-8009 CODEN： OYBSA 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

ダイヤモンドに次ぐ硬さをもつ立方晶窒化ほう素(cBN),ダイ...

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その他の無機化合物の薄膜 , 非金属材料へのセラミック被覆

引用文献 (52件)：

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