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J-GLOBAL ID：200902208907322078   整理番号：03A0872932

メートル級大面積高密度プラズマ生成のための低インダクタンス内部アンテナ駆動型高周波プラズマ源

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著者 (1件)：
節原裕一

節原裕一 について

(京大 大学院工学研究科)

京大 大学院工学研究科 について


資料名：
大阪大学接合科学研究所共同研究報告

大阪大学接合科学研究所共同研究報告 について


巻： 2002  ページ： 20-21  発行年： 2003年10月 
JST資料番号： L3949A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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誘導結合内部アンテナ方式の低電圧駆動大口径/大容量プラズマ源...
シソーラス用語：
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*ドライエッチング

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分類 (2件)：
分類
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プラズマ装置 
(BJ02082I)

プラズマ装置 について

,  固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

タイトルに関連する用語 (6件)：
タイトルに関連する用語
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メートル

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, 
大面積

大面積 について

, 
高密度プラズマ

高密度プラズマ について

, 
インダクタンス

インダクタンス について

, 
内部アンテナ

内部アンテナ について

, 
高周波プラズマ

高周波プラズマ について


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