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J-GLOBAL ID：200906080265265146
RFプラズマ
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プラズマ
学術用語集 (1件)：
学術用語集
国内学会と文部科学省によって編纂された学術用語集の用語です
分光学編(増訂版) / 高周波プラズマ / radio-frequency plasma
同義語 (1件)：
高周波プラズマ
(radio frequency plasma)
高周波プラズマ について
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関連語 (2件)：
高周波放電
(high frequency discharge)
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RF放電
(radiofrequency discharge)
RF放電 について
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上位語 (1件)：
プロセスプラズマ
(process plasma)
プロセスプラズマ について
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下位語 (1件)：
容量結合RFプラズマ
(capacitively coupled radio frequency plasma)
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