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J-GLOBAL ID：200902215372348800   整理番号：09A0691179

コヒーレントX線回折顕微法によるエレクトロマイグレーションボイド生成過程のその場観察

著者 (7件)： 古川隼人 (大阪大 大学院) ,  高橋幸生 (大阪大 大学院) ,  久保英人 (大阪大 大学院) ,  山内和人 (大阪大 大学院) ,  西野吉則 (理研) ,  石川哲也 (理研) ,  松原英一郎 (京大 大学院)
資料名： 日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集  (日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム)
巻： 22nd  ページ： 132  発行年： 2009年 
JST資料番号： L1310A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *X線トポグラフィー ,  *エレクトロマイグレーション ,  細線 ,  銅 ,  放射光施設 ,  集束イオンビーム ,  電子密度 ,  *空孔欠陥 ,  *X線回折 ,  *X線回折顕微鏡法 ,  コヒーレントX線 ,  SPring-8

分類 (2件)： X線回折法  (BK01020I) ,  格子欠陥の観察・実験技術  (BK12020U)

タイトルに関連する用語 (3件)： コヒーレント ,  過程 ,  その場観察