SiN<sub>x</sub>/CN<sub>x</sub>/GaN構造を用いた炭素固相拡散の検討

文献

J-GLOBAL ID：200902219880012740 整理番号：07A0383660

SiN_x/CN_x/GaN構造を用いた炭素固相拡散の検討

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資料名：
巻： 54th 号： 3 ページ： 1487 発行年： 2007年03月27日
JST資料番号： Y0054A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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固体中の拡散一般

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