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J-GLOBAL ID：200902264021964041   整理番号：08A0423958

非晶質透明フッ素樹脂の酸素系低圧ICPによる異方性エッチング

著者 (6件)： 小野尭生 (東大 大学院) ,  杉本翔 (東大 大学院) ,  赤木貴則 (東大 大学院) ,  赤木貴則 (東大) ,  一木隆範 (東大 大学院) ,  一木隆範 (東大)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 55th  号： 1  ページ： 229  発行年： 2008年03月27日 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： 誘導結合プラズマ ,  *フッ素樹脂 ,  非晶質 ,  *プラズマエッチング ,  透明材料 ,  X線光電子スペクトル ,  プラズマ
準シソーラス用語： *異方性エッチング

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： 非晶質 ,  フッ素樹脂 ,  酸素 ,  低圧 ,  ICP ,  異方性エッチング