レーザーアシスト放電による高出力EUV光源の開発

文献

J-GLOBAL ID：200902290020087366 整理番号：07A1202693

Development of EUV Light Source driven by Laser Assisted Discharges.

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資料名：
巻： PPT-07 号： 38-47 ページ： 47-50 発行年： 2007年11月26日
JST資料番号： L4030A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

光リソグラフィ用の極端紫外(EUV)光源の高出力化と高効率化...

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固体デバイス製造技術一般 , 光源,照明器具

引用文献 (4件)：

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