文献
J-GLOBAL ID：200902292018930890
整理番号：08A0441168
電気化学的手法によるGaN表面酸化膜形成と表面安定化への応用
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著者 (3件)：
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資料名：
巻：
55th
号：
3
ページ：
1465
発行年：
2008年03月27日
JST資料番号：
Y0054A
資料種別：
会議録 (C)
記事区分：
短報
発行国：
日本 (JPN)
言語：
日本語 (JA)
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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分類 (1件)：
分類
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固体デバイス製造技術一般
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