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J-GLOBAL ID：200902294769720087   整理番号：05A0280857

ULSI内部配線形成を目的とした無電解銅めっきにおける添加剤の効果

著者 (5件)： 滝佐和子 (早稲田大 理工) ,  長谷川円 (早稲田大 理工) ,  中西卓也 (早稲田大 理工) ,  沖中裕 (早稲田大 理工) ,  逢坂哲弥 (早稲田大 理工)
資料名： 表面技術協会講演大会講演要旨集
巻： 111th  ページ： 87-88  発行年： 2005年03月07日 
JST資料番号： Y0050A  ISSN： 0917-2947  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *銅めっき ,...
準シソーラス用語： ULSI

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分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  無電解めっき  (WC08024S)

物質索引 (1件)： 8-ヒドロキシ-7-ヨード-5-キノリンスルホン酸

タイトルに関連する用語 (4件)： ULSI ,  電解 ,  銅めっき ,  添加剤