Ptショットキーゲートを用いた高感度InP水素センサーの検討

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J-GLOBAL ID：200902295346249031 整理番号：06A0269098

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巻： 53rd 号： 3 ページ： 1497 発行年： 2006年03月22日
JST資料番号： Y0054A 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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気体燃料の輸送,供給,貯蔵 , 半導体-金属接触 , 半導体薄膜 , 金属薄膜

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