特許
J-GLOBAL ID：200903026643447767
ディスプレイ用マイクロデバイス
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
牛木 護
, 吉田 正義
, 今枝 弘充
, 梅村 裕明
, 清水 栄松
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-158685
公開番号（公開出願番号）：特開2008-310126
出願日： 2007年06月15日
公開日（公表日）： 2008年12月25日
要約：
【課題】簡易な構成で小型化、薄型化を図ることができ、かつ生産性を向上させながら信頼性の高いディスプレイ用マイクロデバイスを提供することを目的とする。【解決手段】高真空の中でも蒸発量が少ないシリコンオイルによって液体膨出部12を形成したことで、高真空CVD法を用いて、液体状の液体膨出部12の液表面に保護膜13を積層形成できるようにした。かくして簡易な構成で小型化、薄型化を図ることができ、また従来のようにを貼着する煩雑な組立工程を省くことができるので、その分生産性を向上させることができる。さらに、保護膜13を用いていることから、衝撃や重力などによって液体膨出部12が変形してしまうことを防止でき、一段と信頼性の高いディスプレイ用マイクロデバイス1を提供できる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
一面に第1の電極を備えた基板と、
CVD(Chemical Vapor Deposition)法による薄膜形成処理の際に蒸発せずに残る液体からなり、表面張力又は支持部によって前記基板の一面上から膨出した液体膨出部と、
前記CVD法によって前記液体膨出部の液表面に積層形成された保護膜と、
前記保護膜の表面に形成された第2の電極とを備え、
前記第1の電極及び前記第2の電極間に電圧を印加することにより静電気力が発生し、該静電気力により前記保護膜を変形させることで、所定方向からの光を前記液体膨出部に透過させる
ことを特徴とするディスプレイ用マイクロデバイス。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (20件)：
2H141MA13
, 2H141MB43
, 2H141MB59
, 2H141MC06
, 2H141MF22
, 2H141MF28
, 2H141MG03
, 2H141MZ18
, 3C081AA11
, 3C081BA45
, 3C081BA48
, 3C081BA53
, 3C081BA72
, 3C081CA14
, 3C081CA23
, 3C081CA29
, 3C081CA31
, 3C081DA10
, 3C081DA29
, 3C081EA09
出願人引用 (2件)
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液晶表示装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平3-248768
出願人：株式会社東芝
-
表示装置および表示方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願平7-056885
出願人：株式会社東芝
審査官引用 (3件)
-
光偏向素子および可変焦点レンズ
公報種別：公開公報
出願番号：特願2005-271774
出願人：ソニー株式会社
-
スイッチング装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2003-172931
出願人：ヒューレット-パッカードデベロップメントカンパニーエル.ピー.
-
表示装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願2003-081343
出願人：日本碍子株式会社
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