特許

J-GLOBAL ID：200903046320777858

評価面の粗さ測定方法および評価面の粗さ測定装置

発明者： 川西 哲也
出願人/特許権者： 郵政省通信総合研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-322433
公開番号（公開出願番号）：特開2001-141436
出願日： 1999年11月12日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
要約：

【要約】【課題】 試料の評価面の粗さを示す2つのパラメータである表面粗さと相関距離を個別に測定可能な評価面の粗さ測定装置を提供する。【解決手段】 試料22にレーザ光源21から入射角θ0 でP偏波成分のみからなるレーザを照射し、散乱ブリュースタ角ΘB1における散乱波を偏光ビームスプリッタ23で受け、S偏波成分を第1光検出器24で取得し、P偏波成分を第2光検出器25で取得し、第1,第2光検出器24,25から取得されたS偏波成分の強度とP偏波成分の強度との比に基づいてコンピュータ26が相関距離を演算し、更にその相関距離と当該試料22の散乱強度とに基づいて表面粗さを演算する。

請求項（抜粋）：

評価面の粗さ測定の試料である誘電体の評価面へP偏波の電磁波を照射した際に、その入射角θ0 と電磁波照射側媒質に対する誘電体の相対屈折率nに応じて、電磁波の照射側媒質における散乱ブリュースタ角ΘB1が、【数1】を満たす条件下で、散乱ブリュースタ角ΘB1において取得される散乱波のP偏波成分の強度に対するS偏波成分の強度の比に基づいて、評価面の相関距離を求めるようにしたことを特徴とする評価面の粗さ測定方法。

IPC (2件)：

G01B 11/30 102 ,  G01B 21/30 102

FI (2件)：

G01B 11/30 102 Z ,  G01B 21/30 102

Fターム (18件)：

2F065AA50 ,  2F065BB26 ,  2F065DD06 ,  2F065FF44 ,  2F065FF49 ,  2F065GG04 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ15 ,  2F065LL37 ,  2F065LL46 ,  2F065QQ26 ,  2F069AA57 ,  2F069BB40 ,  2F069CC06 ,  2F069DD15 ,  2F069GG07 ,  2F069NN00

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 光学式センサ装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-331155   出願人：オムロン株式会社