特許
J-GLOBAL ID:200903091718197849

レーザー計測装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 森 哲也 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-050968
公開番号(公開出願番号):特開2002-250708
出願日: 2001年02月26日
公開日(公表日): 2002年09月06日
要約:
【要約】【課題】 安価で高精度なレーザー計測装置を提供する。【解決手段】 作用光を試料に照射することにより生じた物理的変化又は化学的変化を検出光を用いて検知して前記試料の計測を行うレーザー計測装置を、検出光とは波長が異なり且つその出力が変調可能な作用光の光源1と、半導体レーザー発光手段で構成された検出光の光源3と、検出光を検出する検出手段9と、検出光の光源3へ入射する作用光の光量を低減する光量低減手段5と、を備える構成とした。
請求項(抜粋):
レーザー光を用いて試料の計測を行うレーザー計測装置であって、半導体レーザー発光手段で構成された前記レーザー光の光源と、前記レーザー光を検出する検出手段と、前記レーザー光とは波長が異なり且つその出力が変調可能な第二のレーザー光の光源と、前記レーザー光の光源へ入射する前記第二のレーザー光の光量を低減する光量低減手段と、を備えることを特徴とするレーザー計測装置。
IPC (2件):
G01N 25/16 ,  G01N 21/41
FI (2件):
G01N 25/16 C ,  G01N 21/41 Z
Fターム (20件):
2G040AA02 ,  2G040AB07 ,  2G040CA12 ,  2G040CA23 ,  2G040EA06 ,  2G059AA01 ,  2G059BB01 ,  2G059BB04 ,  2G059DD13 ,  2G059EE04 ,  2G059GG01 ,  2G059GG02 ,  2G059GG09 ,  2G059JJ02 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ20 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK01 ,  2G059MM01 ,  2G059NN01
引用特許:
審査官引用 (3件)

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