ゾルーゲル法によるAl上への誘電体酸化膜の形成

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J-GLOBAL ID：201102237158871726 整理番号：11A0910742

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資料名：
巻： 2010 ページ： 45 発行年： 2010年06月25日
JST資料番号： L1855C 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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酸化物薄膜

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