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J-GLOBAL ID：201102267878020185   整理番号：11A0004817

斜め蒸着法による電解キャパシタ用非平衡合金ナノピラー膜の作製

著者 (3件)： 幅崎浩樹 (北大) ,  TANVIR M.T. (北大) ,  青木芳尚 (北大)
資料名： 日本学術会議材料工学連合講演会講演論文集  (日本学術会議材料工学連合講演会論文集)
巻： 54th  ページ： 363  発行年： 2010年10月25日 
JST資料番号： L2574A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： マグネトロンスパッタリング ,  *チタン合金 ,  ケイ素含有合金 ,  多孔質金属 ,  *ナノ構造 ,  *真空蒸着 ,  ナノピラー ,  *斜め蒸着

分類 (1件)： 金属薄膜  (BK14030T)

タイトルに関連する用語 (6件)： 斜め蒸着 ,  電解キャパシタ ,  非平衡 ,  合金 ,  ナノピラー ,  作製