特許

J-GLOBAL ID：201103020725067610

カーボンナノチューブデバイス、ならびに、その製造方法

発明者： 野田 優
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社 ,  野田 優
代理人 (1件)： 石井 裕一郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-529330
特許番号：特許第4558735号
出願日： 2005年07月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 基板(1)と、 前記基板(1)に接し、前記基板(1)に対して垂直方向に貫通する隙間(5)を有する層(3)と、 前記隙間(5)に面した前記基板(1)の表面上に、前記隙間(5)の中心からの距離に応じて連続的に変化する数密度分布を持つカーボンナノチューブ(7)と、 前記カーボンナノチューブ(7)と前記基板(1)との間に配置され、前記カーボンナノチューブ(7)を支持する触媒物質(6)と、を備え、 前記カーボンナノチューブ(7)は、複数のカーボンナノチューブが絡み合った束であり、前記基板(1)に対して垂直方向に伸びる棘状構造をなす ことを特徴とするカーボンナノチューブデバイス。

IPC (2件)：

H01J 1/304 ( 200 6.01) ,  H01J 9/02 ( 200 6.01)

FI (2件)：

H01J 1/30 F ,  H01J 9/02 B