評価面の粗さ測定方法および評価面の粗さ測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：福田賢三 (外2名)
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-322433
公開番号（公開出願番号）：特開2001-141436
特許番号：特許第3348198号
出願日： 1999年11月12日
公開日（公表日）： 2001年05月25日
請求項（抜粋）：

【請求項1】評価面の粗さ測定の試料である誘電体の評価面へP偏波の電磁波を照射した際に、その入射角θ0 と電磁波照射側媒質に対する誘電体の相対屈折率nに応じて、電磁波の照射側媒質における散乱ブリュースタ角ΘB1が、;;数1::を満たす条件下で、散乱ブリュースタ角ΘB1において取得される散乱波のP偏波成分の強度に対するS偏波成分の強度の比に基づいて、評価面の相関距離を求めるようにしたことを特徴とする評価面の粗さ測定方法。

IPC (1件)：