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J-GLOBAL ID：201202260693195690   整理番号：12A0587707

プラズマ支援ミストCVDを用いた酸化亜鉛薄膜形成におけるプラズマ照射の効果

著者 (3件)： 竹中弘祐 (阪大 接合研) ,  奥村祐介 (阪大 接合研) ,  節原裕一 (阪大 接合研)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts of the Spring Meeting, Japan Society of Applied Physics and the Related Societies)
巻： 59th  ページ： ROMBUNNO.17P-B8-11  発行年： 2012年02月29日 
JST資料番号： Y0054B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *酸化亜鉛 ,  プラズマ曝露 ,  *プラズマCVD ,  誘導結合プラズマ ,  アルゴン ,  酸素 ,  X線回折 ,  電子顕微鏡観察 ,  *薄膜成長 ,  透明電極 ,  ミストCVD ,  走査電子顕微鏡法 ,  プラズマ
準シソーラス用語： プラズマ照射

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

物質索引 (1件)： 酢酸亜鉛

タイトルに関連する用語 (5件)： プラズマ ,  支援 ,  ミストCVD ,  酸化亜鉛薄膜 ,  プラズマ照射