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J-GLOBAL ID:201302202417757739   整理番号:13A0685075

ナノ秒パルスレーザー照射によるGaSb表面上の酸化ガリウムナノドット成長の臨界サイズ

著者 (3件):
資料名:
巻: 2012  ページ: 13  発行年: 2013年01月24日 
JST資料番号: L8377A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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分類 (2件):
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レーザ照射・損傷  ,  半導体の表面構造 
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