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J-GLOBAL ID：201402228556980899   整理番号：14A0444603

パルスラジオリシス法によるポジ型塩素系電子線レジストの反応機構の研究

著者 (7件)： 保坂勇志 (早大 理工研) ,  坂本瑞樹 (早大 理工研) ,  大山智子 (原子力機構) ,  榎本智至 (大阪大 産科研) ,  大島明博 (大阪大 産科研) ,  鷲尾方一 (早大 理工研) ,  田川精一 (大阪大 産科研)
資料名： 放射線化学討論会講演要旨集  (Program and Abstract. Annual Meetings of the Japanese Society of Radiation Chemistry)
巻： 56th  ページ： 31-32  発行年： 2013年09月24日 
JST資料番号： L0690A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *パルス放射線分解 ,  *電子線レジスト ,  共重合体 ,  初期反応 ,  過渡吸収スペクトル ,  錯体生成 ,  イオン対 ,  カチオンラジカル ,  電子 ,  電荷移動錯体 ,  シミュレーション ,  反応機構
準シソーラス用語： *ポジ型レジスト

分類 (5件)： 放射線化学一般  (CB09010B) ,  放射線による構造と物性の変化一般  (BK16121W) ,  放射線高分子化学  (CG03050S) ,  電子ビーム・イオンビームの応用  (BD02070X) ,  光化学反応,ラジカル反応  (CF02090A)

物質索引 (2件)： α-メチルスチレン ,  メタクリル酸クロロメチル

タイトルに関連する用語 (4件)： パルスラジオリシス ,  塩素 ,  電子線レジスト ,  研究