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J-GLOBAL ID：201402271442878949   整理番号：14A1100640

液中レーザー照射によるナノ表面改質効果

著者 (6件)： 赤松義哲 (北大 工) ,  白尾泰 (北大 工) ,  細川雄亮 (北大 工) ,  石岡準也 (北大 工) ,  谷津茂男 (北大 工) ,  渡辺精一 (北大 工)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 75th  ページ： ROMBUNNO.19P-PA2-4  発行年： 2014年09月01日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *レーザ照射 ,  *表面改質 ,  *ナノ構造 ,  放電 ,  表面構造 ,  パターン形成 ,  走査電子顕微鏡 ,  *酸化亜鉛 ,  化合物半導体 ,  表面処理 ,  液中放電 ,  構造
準シソーラス用語： パターンニング

分類 (2件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S) ,  半導体の表面構造  (BK15030A)

タイトルに関連する用語 (3件)： 液中 ,  レーザー照射 ,  改質効果