特許
J-GLOBAL ID:201403055964127977

インピーダンス計測センサおよびインピーダンス計測装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 栗原 浩之 ,  村中 克年
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-108770
公開番号(公開出願番号):特開2011-237273
特許番号:特許第5500585号
出願日: 2010年05月10日
公開日(公表日): 2011年11月24日
請求項(抜粋):
【請求項1】 一方の電極である励起電極及び他方の電極である計測電極からなる電極対の複数個と、励起電極の基準電位と同じ電位に保持されたグランド領域と、前記励起電極、計測電極及び前記グランド領域間を電気的に絶縁する絶縁部とを有するインピーダンス計測センサであって、 前記絶縁部は、周囲を前記グランド領域に囲まれてそれぞれ独立した絶縁領域を形成しており、 前記各電極対のうち同一電極対における励起電極と計測電極との間には前記絶縁領域のみが形成されるとともに、 前記各電極対のうち隣接する電極対間における励起電極と計測電極との間の距離、または計測電極と励起電極との間の距離が、同一電極対における励起電極と計測電極との間の距離よりも長くなるように形成されていることを特徴とするインピーダンス計測センサ。
IPC (3件):
G01B 7/06 ( 200 6.01) ,  G01N 27/02 ( 200 6.01) ,  G01R 27/02 ( 200 6.01)
FI (3件):
G01B 7/06 Z ,  G01N 27/02 Z ,  G01R 27/02 A
引用特許:
審査官引用 (6件)
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引用文献:
審査官引用 (1件)
  • Novel fluid dynamic instrumentation for mixing studies developed at ETH Zurich and PSI

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