特許
J-GLOBAL ID:201603018785386873
カーボンナノチューブの製造装置
発明者:
,
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出願人/特許権者:
代理人 (3件):
牛木 護
, 高橋 知之
, 矢野 卓哉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2015-032114
公開番号(公開出願番号):特開2016-153353
出願日: 2015年02月20日
公開日(公表日): 2016年08月25日
要約:
【課題】大量生産を目指した生産性のよいプロセスであって、主にチャンバー内の反応領域の温度と触媒原料ガス・キャリアガス・炭素源ガスの混合過程を制御することにより、結晶性に優れた良質なカーボンナノチューブを、低コストかつ高い収率・収量で合成可能な製造装置の提供。【解決手段】製造装置1の内部に設けられたカーボンナノチューブが合成されるチャンバー3と、チャンバー3に接続され、触媒原料を含む予混合火炎12を形成し、触媒原料を分解する1つ以上の第一の管4と、チャンバー3に接続され、キャリアガス14を供給して、分解した触媒原料と混合し、触媒粒子を発生させる1つ以上の第二の管5と、チャンバー3に接続され、炭素源ガス16を供給して触媒粒子と混合し、カーボンナノチューブを成長させる1つ以上の第三の管6と、チャンバー3の外周に設けられた保温手段7とを備える構成としたカーボンナノチューブの製造装置1。【選択図】図1
請求項(抜粋):
カーボンナノチューブの製造装置であって、
その内部に設けられたカーボンナノチューブが合成されるチャンバーと、
前記チャンバーに接続され、触媒原料を含む予混合火炎を形成し、前記触媒原料を分解する1つ以上の第一の管と、
前記チャンバーに接続され、キャリアガスを供給して、分解した前記触媒原料と混合し、触媒粒子を発生させる1つ以上の第二の管と、
前記チャンバーに接続され、炭素源ガスを供給して前記触媒粒子と混合し、前記カーボンナノチューブを成長させる1つ以上の第三の管と、
前記チャンバーの外周に設けられた保温手段とを備えることを特徴とするカーボンナノチューブの製造装置。
IPC (1件):
FI (1件):
Fターム (17件):
4G146AA11
, 4G146BA12
, 4G146BA48
, 4G146BB22
, 4G146BC23
, 4G146BC42
, 4G146BC44
, 4G146BC47
, 4G146DA03
, 4G146DA13
, 4G146DA23
, 4G146DA25
, 4G146DA32
, 4G146DA34
, 4G146DA35
, 4G146DA36
, 4G146DA39
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