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J-GLOBAL ID：201702247996895664   整理番号：17A1138429

フェムト秒極端紫外レーザー光照射によるEUV多層膜のアブレーション

著者 (22件)： 市丸智 (NTT-AT) ,  錦野将元 (量研 関西研) ,  石野雅彦 (量研 関西研) ,  木下博雄 (兵庫県大) ,  犬伏雄一 (JASRI) ,  東口武史 (宇大 院 CORE) ,  鷲尾方一 (早大 理工研) ,  坂上和之 (早大 高等研) ,  大和田成起 (RIKEN) ,  羽多野忠 (東北大 多元物質科研) ,  畑山雅俊 (NTT-AT) ,  大知渉之 (NTT-AT) ,  HUNG Dinh Thanh (量研 関西研) ,  今亮 (JASRI) ,  原広行 (宇大 院 CORE) ,  山内駿 (宇大 院 CORE) ,  小倉拓人 (宇大 院 CORE) ,  篠崎夏美 (宇大 院 CORE) ,  小柴裕也 (宇大 院 CORE) ,  高橋孝 (早大 理工研) ,  西留武宏 (早大 理工研) ,  奥哲 (NTT-AT)
資料名： 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Autumn Meeting (CD-ROM))
巻： 78th  ページ： ROMBUNNO.5a-S44-7  発行年： 2017年08月25日 
JST資料番号： Y0055B  ISSN： 2758-4704  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *フェムト秒 ,  *極端紫外線 ,  レーザビーム ,  *多層膜 ,  *レーザアブレーション ,  *X線自由電子レーザ ,  紫外レーザ ,  パルスレーザ照射 ,  *反射鏡 ,  ニオブ ,  ケイ素 ,  信頼性 ,  SACLA【レーザ】 ,  *多層膜鏡
準シソーラス用語： *多層膜ミラー

分類 (4件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  レーザ照射・損傷  (BK16040S) ,  その他のレーザ  (BD04090H) ,  X線技術  (BA02060D)

タイトルに関連する用語 (6件)： フェムト秒 ,  極端紫外 ,  レーザー光照射 ,  EUV ,  多層膜 ,  アブレーション