特許
J-GLOBAL ID：202303012776584014
電界放射装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (4件)：
高岡 亮一
, 小田 直
, 森 俊秀
, 三好 玲奈
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2021-187431
公開番号（公開出願番号）：特開2023-074441
出願日： 2021年11月17日
公開日（公表日）： 2023年05月29日
要約：
【課題】エミッタの引き込み量が少ない場合であっても、所定の耐電圧を得ることができる電界放射装置を提供する。
【解決手段】電界放射装置であって、真空室を備える真空容器と、真空室の軸方向の一方側に位置し、真空室の軸方向の他方側に対向する電子発生部を有するエミッタと、真空室の他方側に位置し、エミッタに対向して設けられたターゲットと、エミッタの外周側に設けられた筒状体であり、一方側が真空容器に対して固定され、他方側に開口部を有するガード電極と、ガード電極の内側でエミッタを軸方向に可動させる支持体と、ガード電極に接続された導体で構成され、ガード電極縁部の一方側に配置された電界遮へい体と、を備え、電界遮へい体は、軸方向の投影面上で開口部と部分的に重なって配置され、開口部を複数の領域に仕切る形状に形成されている。
【選択図】図1
請求項（抜粋）：
真空室を備える真空容器と、
前記真空室の軸方向の一方側に位置し、前記真空室の軸方向の他方側に対向する電子発生部を有するエミッタと、
前記真空室の前記他方側に位置し、前記エミッタに対向して設けられたターゲットと、
前記エミッタの外周側に設けられた筒状体であり、前記一方側が前記真空容器に対して固定され、前記他方側に開口部を有するガード電極と、
前記ガード電極の内側で前記エミッタを前記軸方向に可動させる支持体と、
前記ガード電極に接続された導体で構成され、前記ガード電極縁部の一方側に配置された電界遮へい体と、を備え、
前記電界遮へい体は、前記軸方向の投影面上で前記開口部と部分的に重なって配置され、前記開口部を複数の領域に仕切る形状に形成されている、
ことを特徴とする電界放射装置。
IPC (1件)：
FI (2件)：
H01J35/06 E
, H01J35/06 H
