特許

J-GLOBAL ID：202303017810946127

自立膜、積層シート、及び自立膜の製造方法

発明者： 野田 優 ,  宗像 瀬文
出願人/特許権者： 学校法人早稲田大学
代理人 (1件)： 弁理士法人ドライト国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2021-184864
公開番号（公開出願番号）：特開2023-072359
出願日： 2021年11月12日
公開日（公表日）： 2023年05月24日
要約：

【課題】低電気抵抗、低熱抵抗、高力学強度を発現し、耐熱性と柔軟性とに優れ、安価に量産できる自立膜、積層シート、及び自立膜の製造方法を提供する。 【解決手段】自立膜1は、金属粒子2の凝集体3と空隙4とからなる多孔質構造を有する。自立膜1の製造方法は、10Torr以上300Torr以下の不活性ガス中で金属を蒸発させ、金属で構成された金属粒子2を生成し、金属粒子2を基材上に堆積させ、基材上に金属粒子2の凝集体3と空隙4とからなる多孔質構造を有する自立膜前駆体を形成し、基材から自立膜前駆体を剥離することを含む。積層シートは、金属粒子2の凝集体3と空隙4とからなる多孔質構造を有する自立膜1と、キャリア基材とを備える。 【選択図】図1

請求項（抜粋）：

金属粒子の凝集体と空隙とからなる多孔質構造を有する自立膜。

IPC (6件)：

H01L 23/36 ,  H01L 23/373 ,  B22F 1/05 ,  B22F 1/00 ,  B22F 1/148 ,  B22F 3/11

FI (6件)：

H01L23/36 D ,  H01L23/36 M ,  B22F1/05 ,  B22F1/00 K ,  B22F1/148 ,  B22F3/11 A

Fターム (10件)：

4K018BA01 ,  4K018BB04 ,  4K018HA08 ,  4K018KA22 ,  5F136BC07 ,  5F136FA01 ,  5F136FA02 ,  5F136FA03 ,  5F136FA82 ,  5F136GA40

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 医療用デバイスおよび医療用デバイスの表面改質方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-350667   出願人：三菱マテリアル株式会社, 独立行政法人物質・材料研究機構
• 多孔質銀製シート及び多孔質銀製シートを用いた金属製部材接合体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2015-049455   出願人：日立化成株式会社