文献

J-GLOBAL ID：200902047477462187   整理番号：92A0831999

アモルファスシリコン表面におけるシリコンの結晶化に及ぼす吸着アンチモンの効果

Controll of crystallization of Si deposited on Sb-adsorbed amorphous Si surface.

著者 (3件)： 酒井朗 (日本電気) ,  辰巳徹 (日本電気) ,  石田宏一 (日本電気)
資料名： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
巻： 53rd  号： 2  ページ： 729  発行年： 1992年09月 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (5件)： アモルファスシリコン ,  シリコン ,  結晶化 ,  吸着 ,  アンチモン