研究者
J-GLOBAL ID:200901057542156384   更新日: 2021年05月27日

酒井 朗

サカイ アキラ | Sakai Akira
所属機関・部署:
職名: 教授
研究分野 (4件): 無機材料、物性 ,  薄膜、表面界面物性 ,  結晶工学 ,  応用物性
競争的資金等の研究課題 (6件):
  • 電子顕微鏡による構造解析
  • 半導体格子欠陥に関する研究
  • 半導体薄膜成長に関する研究
  • Characterization of inorganic materials by electron microscopy
  • Study on defects in semiconductor materials
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論文 (560件):
MISC (32件):
Works (5件):
  • GaN結晶膜およびGaN系半導体素子(特許)
    1998 -
  • 半導体結晶の作製方法(特許)
    1996 -
  • (]G0048[)誘電率膜キャパシタ(特許)
    1995 -
  • アモルファスシリコン膜の形成方法(特許)
    1993 -
  • 半導体装置の製造方法(特許)
    1992 -
学位 (1件):
  • 博士(工学)
受賞 (2件):
  • 2003/03 - 財団法人大河内記念会 第49回(平成14年度)大河内賞記念賞 大容量DRAM用HSG-Siキャパシタの開発と実用化
  • 1999 - 応用物理学会賞A論文賞
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