超高真空固相成長法による凸凹poly-Siの形成

文献

J-GLOBAL ID：200902049693704902 整理番号：91A0563605

Rough Surface Poly-Si Growth by Solid Phase Crystallization in UHV.

出版者サイト複写サービスで全文入手 {{ this.onShowCLink("http://jdream3.com/copy/?sid=JGLOBAL&noSystem=1&documentNoArray=91A0563605&COPY=1") }}
高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=91A0563605&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=Y0054A") }}

著者 (3件)： , ,
資料名：
巻： 38th 号： Pt 2 ページ： 713 発行年： 1991年03月
JST資料番号： Y0054A 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

, ,

前のページに戻る