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J-GLOBAL ID：200902120764675921   整理番号：02A0840267

半導体薄膜成長と電子顕微鏡評価

著者 (1件)： 酒井朗 (名古屋大)
資料名： 名古屋大学電子光学研究のあゆみ  (Nagoya University Ayumi(Progress Steps) of the Electron Optics Research)
号： 18  ページ： 23-24  発行年： 2002年09月25日 
JST資料番号： X0925A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： デバイス開発を目的とした半導体薄膜材料に対する透過電子顕微鏡...

シソーラス用語： 半導体薄膜 ,...
準シソーラス用語： MOVPE

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分類 (3件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (4件)： 半導体薄膜 ,  成長 ,  電子顕微鏡 ,  評価