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J-GLOBAL ID:200902125700493066   整理番号:02A0395739

自己組織化単分子層をシード層へ適用した無電解NiReP拡散防止層の作製と評価

著者 (6件):
資料名:
巻: 69th  ページ: 382  発行年: 2002年03月25日 
JST資料番号: Y0048A  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
シソーラス用語:
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分類 (1件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
固体デバイス製造技術一般 

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