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J-GLOBAL ID：200902182975309200   整理番号：96A0435305

GaAs(100)オフ基板上のGaN膜の微細構造

Microstructure of GaN films on GaAs(100) substrates grown by hydride VPE.

著者 (4件)： 酒井朗 (NEC 基礎研) ,  木村明隆 (NEC 光エレクトロニクス研) ,  砂川晴夫 (NEC 基礎研) ,  碓井彰 (NEC 基礎研)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 43rd  号： 1  ページ： 294  発行年： 1996年03月 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (3件)： GaAs ,  GaN ,  微細構造