文献

J-GLOBAL ID：200902215120380182   整理番号：08A0766053

プラズマ軟X線レーザー利用研究の最前線 5.軟X線レーザー励起による固体の発光計測

著者 (3件)： 田中桃子 (日本原子力研究開発機構) ,  古川裕介 (大阪大) ,  猿倉信彦 (大阪大)
資料名： プラズマ・核融合学会誌  (Journal of Plasma and Fusion Research)
巻： 84  号： 7  ページ： 443-445  発行年： 2008年07月25日 
JST資料番号： G0114A  ISSN： 0918-7928  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 次世代リソグラフィー光源として開発が進められているEUV光領域では,計測・調整に必要なシンチレータの開発が望まれている。波長13.9nm,パルス幅7psの軟X線レーザパルスを光源とし,ZnOの紫外発光特性を測定した。波長351nm紫外光励起の場合と比較し,EUV用シンチレータとしての可能性を評価した。時間分解分光計測,発光減衰特性,発光スペクトルの温度依存性の測定結果を示す。ZnOはns時間領域のEUVリソグラフィー用光源に対しては十分な時間分解能を有するが,ps流域の自由電子レーザを用いた高速計測には不十分である。

シソーラス用語： *X線レーザ ,  リソグラフィー ,  *シンチレータ ,  軟X線 ,  酸化亜鉛 ,  時間分解能 ,  極端紫外線 ,  *時間分解分光法

分類 (2件)： プラズマ応用  (BJ02110K) ,  その他のレーザ  (BD04090H)

引用文献 (15件)：

• JAEGLE, P. J. Appl. Phys. 1997, 81, 2406
• SUZUKI, Y. Appl. Phys. Lett. 2002, 80, 3280
• OZGUR, U. J. Appl. Phys. 2005, 98, 041301
• WILKINSON, J. Rad. Meas. 2004, 38, 501
• OHTA, H. Appl. Phys. Lett. 2000, 77, 475

タイトルに関連する用語 (6件)： プラズマ ,  軟X線レーザー ,  研究 ,  励起 ,  固体 ,  計測