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J-GLOBAL ID：200902221527654864   整理番号：09A1005784

SPring-8におけるX線ミラーのための表面形状計測装置LTP(Long trace profiler)の開発

著者 (10件)： 岸本輝 (高輝度光科学研究セ) ,  仙波泰徳 (高輝度光科学研究セ) ,  湯本博勝 (高輝度光科学研究セ) ,  大橋治彦 (高輝度光科学研究セ) ,  大橋治彦 (理研) ,  後藤俊治 (高輝度光科学研究セ) ,  後藤俊治 (理研) ,  山内和人 (大阪大) ,  石川哲也 (高輝度光科学研究セ) ,  石川哲也 (理研)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2009  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.C04  発行年： 2009年08月25日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： SPring-8において1m級長さのX線ミラーに対応した表面形状計測装置LTP(long trace profiler)を開発した。計測環境を整え,光学系の最適化を行うことで安定性を向上させた。さらに,干渉計の3面合わせ法で絶対形状を評価したテスト平面ミラーを用いて,LTPの絶対計測精度を検討した結果,計測領域150mmでPV2nmの絶対計測精度を持つことが示された。(著者抄録)

シソーラス用語： *形状測定 ,  *形態 ,  *反射鏡 ,  計測器
準シソーラス用語： LTP ,  *X線ミラー ,  測定装置 ,  *表面形状

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (5件)： SPring-8 ,  X線ミラー ,  形状計測装置 ,  LTP ,  開発