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J-GLOBAL ID：200902270825113680   整理番号：09A0005413

高速レーザフラッシュ法による薄膜熱拡散率計測システムの開発(4)不確かさ評価

DEVELOPMENT OF HIGH SPEED LASER FLASH SYSTEM USING SUB-NANOSECOND THERMOREFLECTANCE TECHNIQUE (4); UNCERTAINTIY EVALUATION

著者 (3件)： 八木貴志 (産業技術総合研) ,  竹歳尚之 (産業技術総合研) ,  馬場哲也 (産業技術総合研)
資料名： Thermophysical Properties  (Thermophysical Properties)
巻： 29th  ページ： 351-353  発行年： 2008年10月08日 
JST資料番号： X0031A  ISSN： 0911-1743  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 超高速レーザフラッシュ法装置による,窒化チタン薄膜の熱拡散時間依頼試験における不確かさ評価を述べた。本依頼試験は,標準物質の校正を目的としており,試験片は窒化チタン薄膜に限定されるが,一般ユーザも利用可能である。薄膜試料は,透明なガラス基板上の窒化チタン薄膜を対象とし,膜厚方向の一次元熱拡散を観測した。不確かさを,温度履歴曲線におけるパルス加熱時刻原点と時間軸,フィッティング解析,測定温度,繰り返し再現性の五項目に分けて評価した。本依頼試験における,不確かさの代表値は拡張不確かさにおいて3.6%であった。

シソーラス用語： *温度伝導率 ,  計測システム ,  チタン化合物 ,  窒化物 ,  ガラス ,  基板 ,  不確実性 ,  熱拡散 ,  膜厚 ,  レーザ加熱 ,  *ポンププローブ法 ,  パルスレーザ照射 ,  *薄膜
準シソーラス用語： *レーザフラッシュ法 ,  *測定の不確かさ ,  *窒化チタン ,  *熱拡散率

分類 (2件)： 比熱・熱伝導一般  (BL05021E) ,  光学的測定とその装置一般  (BD07010S)

引用文献 (7件)：

• TAKETOSHI, N. Jpn. J. Appl. Phys. 1999, 38, L1268
• TAKETOSHI, N. Meas. Sci. Tecnol. 2001, 12, 2064-2073
• TAKETOSHI, N. Rev. Sci. Instrum. 2003, 74, 5226-5230
• TAKETOSHI, N. Rev. Sci. Instrum. 2005, 76, 094903
• YAGI, T. Proc. of 27th Jpn. Symp. on Thermophys. Prop., 2006. 2006, J142

タイトルに関連する用語 (7件)： レーザフラッシュ法 ,  薄膜 ,  熱拡散率 ,  計測システム ,  開発 ,  不確かさ ,  評価