特許

J-GLOBAL ID：200903018757309159

極微小領域の温度測定装置

発明者： 清水 祐公子 ,  石井 順太郎 ,  小野 晃 ,  馬場 哲也
出願人/特許権者： 独立行政法人産業技術総合研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-338307
公開番号（公開出願番号）：特開2007-147301
出願日： 2005年11月24日
公開日（公表日）： 2007年06月14日
要約：

【課題】試料の極微少領域の表面温度をサーモリフレクタンス法により高精度・高空間分解能・高速度で測定することを可能とするとともに、表面反射率の温度依存性が知られていない試料についても、その表面反射率の温度依存性を解析し、その結果を用いて温度を即時に決定することを可能にする装置を提供する。【解決手段】反射光強度の検出器の前にピンホールを配置することにより空間分解能を向上させるとともに、試料に矩形波電流を流した際の電気抵抗と反射光強度を同時に測定することにより表面反射率の温度依存性を解析し、その結果を用いて即時に温度を決定する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

少なくとも、試料の表面の極微小領域にレーザー光を照射する光学系と、前記レーザー光の照射を受けた際の前記試料表面からの反射光を集光する光学系と、該光学系の焦点位置に配置されたピンホールと、該ピンホールを通過した反射光の強度を検出する検出器と、前記試料に矩形波加熱電流を流す手段と、前記電流を流した際の試料の電気抵抗を測定する手段と、前記反射光強度と前記電気抵抗を同時測定することにより表面反射率の温度依存性を解析する手段とを有することを特徴とする極微小領域の温度測定装置。

IPC (2件)：

G01K 11/12 ,  G01J 5/58

FI (2件)：

G01K11/12 C ,  G01J5/58

Fターム (9件)：

2F056VF11 ,  2F056VF16 ,  2F056VF17 ,  2G066AA01 ,  2G066AC11 ,  2G066AC20 ,  2G066BA08 ,  2G066CA11 ,  2G066CA16

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 微小信号測定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-339582   出願人：独立行政法人産業技術総合研究所
• サーモリフレクタンス法による熱拡散率測定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-260938   出願人：工業技術院長