特許
J-GLOBAL ID：200903016406059544

微小信号測定方法

発明者：
竹歳 尚之

竹歳 尚之 について

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馬場 哲也

馬場 哲也 について

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エマニュエル ショウブ

エマニュエル ショウブ について


出願人/特許権者：
独立行政法人産業技術総合研究所

独立行政法人産業技術総合研究所 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-339582
公開番号（公開出願番号）：特開2003-139585
出願日： 2001年11月05日
公開日（公表日）： 2003年05月14日
要約：
【要約】【課題】 温度や加速度等の各種物理量測定時に、雑音と共に検出される周期的に発生する微小信号を、簡単な手段により精密に測定する。【解決手段】 周期t1で繰り返される微小信号の振幅T1を検出する際、周期t1より長い周期t2でこの信号を振幅変調し、この周期t2で振幅変調と位相が異なる振幅T2の参照信号を重畳する。この重畳信号は微小信号の振幅T1に対応した信号で、これを検出し、特に位相変化により微小信号の振幅を精密に求めることができる。特にピコ秒サーモリフレクタンス法のように、温度の変化から薄膜等の熱物性を測定する場合には、微小信号の振幅T1に比例し周期t2で変調された参照信号が自発的に生成され、周期t1で繰り返し発信する変調を加えていないパルス光をプローブ光として測定対象に照射し、励起パルスとプローブパルス光の時間差に依存して変化する微小信号を検出し、熱拡散による温度変化等が検出される。
請求項（抜粋）：
周期t1で繰り返される微小信号の振幅T1を検出するために、t1よりも長い周期t2で信号を振幅変調し、周期t2で振幅変調と位相が異なる振幅T2の参照信号を重畳することにより、微小信号の振幅T1に対応した信号を検出することを特徴とする、微小信号測定方法。
IPC (4件)：
G01D 21/00 ,  G01D 3/028 ,  G01K 11/12 ,  G01R 19/00
FI (4件)：
G01D 21/00 M ,  G01K 11/12 C ,  G01R 19/00 C ,  G01D 3/04 Q
Fターム (9件)：
2F056VF11 ,  2F075AA05 ,  2F075AA07 ,  2F076BA01 ,  2F076BD05 ,  2G035AA00 ,  2G035AA07 ,  2G035AB00 ,  2G035AD39
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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