特許
J-GLOBAL ID:200903030302133087

高速パルス高速時間応答測定方法並びに装置

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-128426
公開番号(公開出願番号):特開2003-322628
出願日: 2002年04月30日
公開日(公表日): 2003年11月14日
要約:
【要約】【課題】 光路長の制御による観測時間領域の制限を無くし、パルスレーザーを用いたサーモリフレクタンス法の測定対象拡大を図ることを目的としている。【解決手段】 本発明は、測定対象励起用の励起パルス光として超短パルス光を測定対象に照射する一方、プローブパルス光を該測定対象に照射して、その反射光を検知することにより該測定対象の温度変化を観測する。個別に電気的に制御可能の測定対象励起用のパルスレーザーと、プローブ用パルスレーザーの2台を用意し、励起パルス光の測定対象照射時に対するプローブ用パルス光の測定対象照射時刻の差を電気的に制御することにより、励起パルス光とプローブパルス光の時間差に依存して変化する信号を検出する。
請求項(抜粋):
測定対象励起用パルス光を測定対象に照射する一方、プローブパルス光を該測定対象に照射して、励起パルス光による該測定対象の状態変化に対応したプローブ光の該測定対象照射後の変化を観測する高速パルス高速時間応答測定方法において、測定対象励起用パルス光としてパルス光が周期的に発振される光源を用意し、別個にプローブパルス光として励起光と等しい周期で発振するパルス光源を用意し、励起パルス光の測定対象照射時に対するプローブ用パルス光の測定対象照射時刻の差を電気的に制御することにより、励起パルス光とプローブパルス光の時間差に依存して変化する信号を検出することを特徴とする高速パルス高速時間応答測定方法。
IPC (3件):
G01N 25/18 ,  G01J 11/00 ,  G01K 11/12
FI (3件):
G01N 25/18 H ,  G01J 11/00 ,  G01K 11/12 C
Fターム (14件):
2F056VF07 ,  2F056VF17 ,  2G040AB08 ,  2G040AB12 ,  2G040CA12 ,  2G040CA23 ,  2G040DA10 ,  2G040EA06 ,  2G040EC02 ,  2G065AA04 ,  2G065AB16 ,  2G065AB22 ,  2G065BB38 ,  2G065DA20
引用特許:
審査官引用 (1件)
引用文献:
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