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J-GLOBAL ID：201102240821393761   整理番号：11A1191106

光断層計測技術を利用したfsレーザー3次元透明半導体結晶欠陥探査法の開発

著者 (4件)： 西澤典彦 (名古屋大 大学院工学研究科) ,  中里智治 (大阪大 レーザーエネルギー学研究セ) ,  清水俊彦 (大阪大 レーザーエネルギー学研究セ) ,  猿倉信彦 (大阪大 レーザーエネルギー学研究セ)
資料名： 大阪大学レーザーエネルギー学研究センター共同利用・共同研究成果報告書  (ILE Annual Report of Collaborative Research)
巻： 2010  ページ： 247-248  発行年： 2011年03月31日 
JST資料番号： J0876A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (7件)： 断層 ,  計測技術 ,  レーザー ,  3次元 ,  結晶欠陥 ,  探査 ,  開発