抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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カーボンナノチューブ構造体は,その高い電流密度耐性,熱伝導性などにより,LSIビア配線をはじめとする電気材料として注目されている。一方で,カーボンナノチューブの電気的,熱的,機械的,化学的特性は,その結晶構造に深く依存しているため,カーボンナノチューブを使ったデバイスの特性を向上させるためには,構成するカーボンナノチューブの結晶構造について評価する手法が強く求められている。我々は,カーボンナノチューブ構造体の結晶構造(層数,d
002面間隔,配向性,結晶性)と構成する割合を導き出す非破壊評価方法をXRD法により開発した。本解析手法は将来のカーボンナノチューブ構造体応用デバイスの開発の加速に大きく貢献するだろう。(著者抄録)