文献

J-GLOBAL ID：201102278779129215   整理番号：11A1191100

EUV光検出素子およびEUV励起UV・VUV光源の開発

著者 (1件)： 猿倉信彦 (大阪大 レーザーエネルギー学研究セ)
資料名： 大阪大学レーザーエネルギー学研究センター共同利用・共同研究成果報告書  (ILE Annual Report of Collaborative Research)
巻： 2010  ページ： 233-234  発行年： 2011年03月31日 
JST資料番号： J0876A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (5件)： EUV光 ,  検出素子 ,  EUV ,  励起 ,  開発