抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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金めっきは様々な分野で利用されているが,本稿においては電子部品を対象とした技術について解説した。(1)ノーシアン軟質Au電気めっき,(2)Au下地触媒型無電解めっきおよび(3)硬質および非晶質Au電気めっきについて示した。(1)では,シアン基の持つ種々の不具合を排除するために,チオ硫酸・亜硫酸混合液系を利用しためっき液が開発されたことを示した。(2)では,シアン系Au下地触媒型無電解めっきおよびノーシアン系Au下地触媒型無電解めっきについて記した。(3)ではCoあるいはNiを微量添加することで機械的性質を向上させたAuめっきについて取り上げ,その形成法,キャラクタリゼーション,特性等を詳細に示した。