特許

J-GLOBAL ID：201103081720130894

ガス検出素子

発明者： 金森 正晃 ,  高橋 康隆 ,  大矢 豊
出願人/特許権者： エヌオーケー株式会社
代理人 (1件)： 吉田 俊夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-250127
公開番号（公開出願番号）：特開平7-083865
特許番号：特許第3218821号
出願日： 1993年09月10日
公開日（公表日）： 1995年03月31日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 錫テトラアルコキシドとゲルマニウムテトラアルコキシドとの混合焼成物であるゲルマニウム含有酸化錫半導体薄膜を絶縁性基板上にガス感応体として形成せしめてなるガス検出素子。

IPC (1件)：

G01N 27/12

FI (1件)：

G01N 27/12 C

引用特許：

審査官引用 (8件)

• 特開昭51-065997
  
• 特開昭59-026043
  
• 特開昭59-094050
  
• 特開昭60-071942
  
• 特開平1-242952
  
• 特開昭58-044339
  
• 特開昭59-090037
  
• 特開平2-132361