抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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メッキ技術の新しい展開として,先進デバイスへの利用が進められている。本稿では,著者が開発しているメッキ薄膜について示すとともに,医療分野への応用についても述べた。初めに,磁性材料と半導体材料について記し,前者では,磁気ヘッド材料,磁気記録層用材料および無電解めっき磁性膜を用いた磁気センサ,そして,後者ではLSIにおける配線の形成プロセスを示した。最後に,医用分野への展開として,ハイパーサーミア(温熱療法),ドラッグデリバリーシステム,MRI造影剤等へ利用するためのFePtナノ粒子およびFe
3O
4ナノ粒子の調製について示した。