特許
J-GLOBAL ID：201303052526206566
光学素子、光集積デバイス
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (3件)：
池田 憲保
, 福田 修一
, 佐々木 敬
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-284866
公開番号（公開出願番号）：特開2008-102318
特許番号：特許第4774519号
出願日： 2006年10月19日
公開日（公表日）： 2008年05月01日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板上に形成された下部電極と、前記基板に供給する超微粒子脆性材料に機械的衝撃力を負荷することで当該超微粒子脆性材料を前記下部電極に接合させ形成した電気光学層からなり前記下部電極上に形成された導波路と、該導波路上に形成された上部電極とを含み、前記下部電極が金属多層膜からなり、
前記電気光学層は、電気光学材料からなる前記超微粒子脆性材料を、常温衝撃固化現象を利用したエアロゾルデポジション法で形成したものであり、
前記金属多層膜における各金属層の膜厚が、成膜における膜形成初期段階の厚さとされ、
前記金属多層膜が金、銀、銅、Ir、Ru、W、Moの少なくとも1つを主成分とする複数の層と他の金属層とからなり、前記電気光学層と前記他の金属層が接していることを特徴とする光学素子。
IPC (2件)：
G02F 1/035 ( 200 6.01)
, G02F 1/055 ( 200 6.01)
G02F 1/035
, G02F 1/055 505
