特許
J-GLOBAL ID：201403044663873310

圧力センサ

発明者：
篠原 陽子

篠原 陽子 について

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大海 学

大海 学 について

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内山 武

内山 武 について

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下山 勲

下山 勲 について

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松本 潔

松本 潔 について

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高橋 英俊

高橋 英俊 について

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グェン ミン ジューン

グェン ミン ジューン について


出願人/特許権者：
セイコーインスツル株式会社

セイコーインスツル株式会社 について

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国立大学法人 東京大学

国立大学法人 東京大学 について


代理人 (3件)： 久原 健太郎 ,  内野 則彰 ,  木村 信行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-200077
公開番号（公開出願番号）：特開2014-142330
出願日： 2013年09月26日
公開日（公表日）： 2014年08月07日
要約：
【課題】温度変化のある環境下でも圧力変動を正確に検出することができる圧力センサを提供する。【解決手段】圧力センサ1を、キャビティ10が形成され少なくとも一部が断熱素材からなるセンサ本体3と、センサ本体3に片持ち状に支持された状態でキャビティ10内外の差圧に応じて撓み変形するカンチレバー4と、で構成する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
圧力変動を電気信号に変換して出力する圧力センサであって、 キャビティと、該キャビティの内部と外部とを連通する連通開口と、が形成されたセンサ本体と、 基端部から先端部に向けて延びる板状に形成され、前記基端部が前記連通開口の内壁に片持ち状に支持され、前記キャビティの内部と外部との圧力差に応じて撓み変形するカンチレバーと、 前記カンチレバーの撓み変形に応じた変位を測定する変位測定部と、 前記キャビティ外部の温度変化による前記電気信号の変動を除去する温度補償部と、 を備えたことを特徴とする圧力センサ。
IPC (2件)：
G01L 9/00 ,  H01L 29/84
FI (2件)：
G01L9/00 303L ,  H01L29/84 A
Fターム (24件)：
2F055AA40 ,  2F055BB20 ,  2F055CC12 ,  2F055DD05 ,  2F055EE14 ,  2F055FF02 ,  2F055GG11 ,  2F055GG32 ,  4M112AA01 ,  4M112BA01 ,  4M112CA21 ,  4M112CA22 ,  4M112CA23 ,  4M112CA26 ,  4M112CA29 ,  4M112CA32 ,  4M112CA33 ,  4M112DA02 ,  4M112DA18 ,  4M112EA03 ,  4M112EA06 ,  4M112EA10 ,  4M112FA05 ,  4M112GA01
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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