真空部品

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：栗原浩之 , 村中克年
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-311862
公開番号（公開出願番号）：特開2010-133531
特許番号：特許第5648777号
出願日： 2008年12月08日
公開日（公表日）： 2010年06月17日
請求項（抜粋）：

【請求項1】真空中の稼働部に用いられる真空部品であって、少なくとも表面層が炭素ドープ酸化チタン層からなると共に該炭素がTi-C結合の状態でドープされており且つ前記炭素ドープ酸化チタン層の炭素ドープ酸化チタン層のビッカース硬度が300以上であり、当該炭素ドープ酸化チタン層は研磨処理が施されていることを特徴とする真空部品。

IPC (3件)：